|
|
Модули электродеионизации серии VNX–E и VNX–EX Ionpure
Назначение
Модули электродеионизации серий VNX-E и VNX-EX Ionpure® чаще всего используются для удовлетворения потребностей в высокочистой деионизованной воде при высокой эффективности солезадержания, предъявляемых в микроэлектронике. В качестве исходной воды для EDI-модулей серий VNX-E и VNX-EX должны использоваться либо деионизованная вода марки «Б», либо пермеат двухступенчатой установки обратного осмоса, имеющий соответствующее качество. Деионизованная вода, получаемая на выходе из этих модулей, обычно имеет удельное сопротивление равное 17,5-18 Мом-см и полностью соответствует требованиям для сверхчистой воды, необходимой для производства изделий полупроводниковой техники.
Конструкция
EDI-модули представляют собой установку трубчатого типа, состоящую из катодной и анодной опорной плиты, и повторяющихся элементов. Эти повторяющиеся элементы, как правило, включают в себя анион проницаемую мембрану, блок смеси катионита и анионита, катион проницаемую мембрану и серию разделительных перегородок (турбулизаторов, уплотнителей). Вся конструкция устанавливается в трубчатую обечайку и стягивается с помощью специальных стяжных болтов через опорные плиты.
Модули серий VNX-E и VNX-EX имеют четыре технологических патрубка: подача исходной (питательной) воды, подача концентрата, отвод продукта и отвод обратного потока. В комплект поставки модуля входят адаптеры (с пылезащитными чехлами) и заглушки из ПВХ. Кроме того, поставляются полипропиленовые адаптеры 50 мм для модулей с высокой степенью очистки.
Подключение электропитания модуля осуществляется при помощи встроенной распределительной коробки.
Конструкционные компоненты модулей серий VNX-E и VNX-EX, которые вступают в контакт с водой, выполнены из ПВХ (PVC-U) (адаптеры), нейлона, акрилонитрил-бутадиенстирола (ABS), полипропилена, силикона, ионоселективных мембран, ионообменных смол и термопластичного эластомера. Корпус EDI-модуля изготовлен из армированного стеклопластика (FRP). Стандартный цвет – белый, глянцевый.
Для крепления модулей на рамах или один к другому используется кронштейн и комплект крепежа из литого алюминия с эпоксидным покрытием типа Flexmount™.
Технические характеристики
| Параметр |
Марка EDI-модуля |
| VNX55-E |
VNX55-EХ |
| Степень извлечения пермеата, % |
98,5-99 |
95-97,5 |
| Производительность*, м3/час |
| • минимальная |
7,5 |
| • номинальная |
12,5 |
| • максимальная |
16,7 |
| Перепад давления* на модуле, МПа |
0,14-0,41 |
0,21-0,41 |
| Напряжение постоянного тока |
0-600 |
| Сила постоянного тока**, А |
0-13,2 |
| Удельное сопротивление продукта, MOм-см |
| • при использовании ОО-пермеата |
> 18 |
> 17,5 |
| • при использовании деионизованной воды |
≥ 18 |
| Эффективность удаления примесей, %: |
| • кремния (SiO2) |
≥ 95 |
99 |
| • бора (B) |
≥ 95 |
99 |
| • натрия (Na+) |
99,8 |
≥ 99,9 |
| • хлоридов (Cl–) |
99,8 |
≥ 99,9 |
| Габаритные размеры, мм |
| • ширина |
508 |
| • высота |
508 |
| • длина |
2133 |
| Масса, кг |
| • брутто |
277 |
| • в рабочем состоянии (заполненный) |
374 |
* Фактические производительность и перепад давления можно определить с помощью математического моделирования процесса с помощью соответствующего программного обеспечения.
** 0 –10 А — типичная сила тока для большинства областей применения.
Эксплуатация
Условия эксплуатации модулей электродеионизации серий VNX-E и VNX-EX Ionpure® приведены в Таблице:
| Параметр |
Марка EDI-модуля |
| VNX55-E |
VNX55-EХ |
| Взвешенные вещества (мутность по нефелометру), менее |
0,01 |
| Давление исходной воды, МПа |
0,14 - 0,7 |
0,21-0,7 |
| Температура исходной воды, oC |
20 – 45 |
20 – 45 |
| Исходная жесткость (в пересчете на СаСО3), мг/л |
< 0,1 |
< 0,1 |
| Удельная электропроводность исходной воды (включая СО2 и SiO2), мкСим/см |
10 |
| Цветность, градус не более |
< 0,02 |
| Значение рН исходной воды |
4 - 11 |
| Железо общее, мг/л не более |
< 0,01 |
| Марганец, мг/л не более |
<0,01 |
| Нефтепродукты |
отсутствие |
| Сероводород и сульфиды, мг/л не более |
< 0,01 |
| Свободный активный хлор (в пересчете на Cl2), мг/л не более |
< 0,02 |
| Окислители |
отсутствие |
| Общий органический углерод (ТОС в пересчете на углерод) , мг/л не более |
< 0,5 |
| Кремниевая кислота (в пересчете на SiO2), мг/л не более |
< 0,2 |
| Напряжение электрической сети |
380/220 ± 10% В, 50 Гц |
| Температура воздуха в помещении, оС |
5 – 35 |
| Влажность, % не более |
70 |
|
|
